Анализ параметров сенсора на поверхностных акустических волнах с наностержнями \(\mathsf{ZnO}\)

Abstract

Работа посвящена разработке высокочувствительного сенсора на поверхностных акустических волнах для определения концентрации различных газов. Проведен расчет резонатора на частоте 433 МГц, который использовался в качестве исходной структуры газового сенсора. Представлена АЧХ разработанного и изготовленного резонатора. Описана технология формирования наностержней ZnO с помощью гидротермального метода для создания чувствительного элемента сенсора. Предложен подход, применимый для определения выходных параметров сенсора с учетом наностержней. В результате моделирования параметров чувствительной области сенсора с помощью метода конечных элементов и дополнительного расчета выходных характеристик определена чувствительность ПАВ сенсора к массовой нагрузке аналита. Показано, что применение наностержней ZnO улучшает рабочие характеристики сенсора вследствие увеличения эффективной площади поверхности.