Анализ параметров сенсора на поверхностных акустических волнах с наностержнями \(ZnO\) - Богдан, А.В.; Зазерин, А.И.; Орлов, А.Т.; Пашкевич, Г.А.; Ульянова, В.А. (Веснік Брэсцкага ўніверсітэта. Серыя 4. Фізіка. Матэматыка, 2014)
Работа посвящена разработке высокочувствительного сенсора на поверхностных акустических волнах для определения концентрации различных газов. Проведен расчет резонатора на частоте 433 МГц, который использовался в качестве исходной структуры газового сенсора. Представлена АЧХ разработанного и изготовленного резонатора. Описана технология формирования наностержней ZnO с помощью гидротермального метода для создания чувствительного элемента сенсора. Предложен подход, применимый для определения выходных параметров сенсора с учетом наностержней. В результате моделирования параметров чувствительной области сенсора с помощью метода конечных элементов и дополнительного расчета выходных характеристик определена чувствительность ПАВ сенсора к массовой нагрузке аналита. Показано, что применение наностержней ZnO улучшает рабочие характеристики сенсора вследствие увеличения эффективной площади поверхности.